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2016/03/13
作者： 常宇飛 蘇州納芯微電子有限公司 現場應用經理
摘要：壓力傳感器是現實生活中最為常用的一種傳感器，其廣泛應用于各種工業控制，汽車電子，醫療設備，本文主要針對應變電阻惠斯通電橋式傳感器的生產標定做出簡要說明，以供壓力傳感器工程人員參考。限于編者水平有限，望讀者對文中不妥和錯誤之處給予批評指正。
關鍵詞：NSA2300信號調理芯片；惠斯通電橋；壓力傳感器校準
傳感器特性
圖1為直流電橋，當前輸出電阻無限大時，則前橋的輸出可簡化如下：
圖2（左）為xxx型壓力傳感器輸出特性曲線。分別為在-40°，0°，25°以及85°溫度環境中測試電橋在不同壓力下輸出。實際應用中我們往往期望傳感器輸出與溫度無關且線性，如圖2（右）。受限于MEMS設計制作工藝、材料物理特性等，MEMS傳感器本身很難達到理想要求，實際應用中往往需在MEMS后端加入信號調理芯片對其進行校準。
表1
模式 | 輸出 | 說明 |
1T2P | off,s0 | 一個溫度點兩個壓力點。tc1=tc2=ts1=ts2=ks=kss=0 |
1T3P | off,s0,ks | 一個溫度點三個壓力點。tc1=tc2=ts1=ts2=ks=0 |
1T4P | Off,s0,ks,kss | 一個溫度點四個壓力點。tc1=tc2=ts1=ts2=0 |
2T2P | Off,s0,tc1,ts1 | 兩個溫度點兩個壓力點。tc2=ts2=ks=kss=0 |
2T3P | Off,s0,tc1,ts1,ks | 兩個溫度點三個壓力點。tc2=ts2=ks=0 |
2T4P | Off,s0,tc1,ts1,ks,kss | 兩個溫度點四個壓力點。tc2=ts2=0 |
3T2P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2 | 三個溫度點兩個壓力點。ks=kss=0 |
3T3P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2,ks | 三個溫度點三個壓力點。kss=0 |
3T4P | Off,s0,tc1,tc2,ts1,ts2,ks,kss | 三個溫度點四個壓力點。 |
