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隨著環(huán)保法規(guī)以及排放標準的升級,汽車/摩托車發(fā)動機為了實現充分燃燒,減少排放的目的,通常需要在進氣歧管上安裝(溫度)壓力傳感器(TMAP)來快速精確的控制空燃比,以實現動力性、燃油經濟性和排放之間的平衡,而車規(guī)級亞毫秒響應時間絕壓傳感器是內燃機系統實現閉環(huán)控制的關鍵器件之一。同時對于油改氣的車型,也需要通過安裝噴油嘴附近的壓力傳感器來檢測進氣壓力,以實現充分燃燒和減少排放的目的。蘇州納芯微電子股份有限公司(以下簡稱“納芯微電子”)日前宣布推出汽車集成式絕壓傳感器NSPAS3 / NSP163X系列。
納芯微NSPAS3系列是一款基于硅的壓阻效應并采用先進的MEMS微加工工藝設計而成的汽車級集成式絕壓傳感器。該產品主要采用汽車級信號調理芯片對MEMS芯體(NSP163x)的輸出進行校準和補償,能將10kPa至400kPa的壓力信號轉換為可自定義輸出范圍(0~5V)的模擬輸出信號。內置的車規(guī)級MEMS絕壓壓力芯體(NSP163x)是基于高靈敏度的單晶硅壓阻效應并采用先進的硅硅鍵合CSOI MEMS微加工工藝設計而成,其制造平臺經過IAFTF16949認證,每片晶圓都通過100% AOI檢測以及CP測試,產品在生命周期內精度和穩(wěn)定性優(yōu)于±1%F.S.,此外,AEC-Q103可靠性標準也正在認證中。該系列MEMS晶圓芯體(NSP163x)以及合封產品(NSPAS3)主要應用于汽車進氣歧管壓力檢測以及摩托車進氣通路壓力檢測,也可用于混動/新能源真空助力系統(VBS)和電池包壓力檢測,在工業(yè)控制,氣象站等應用上也有它的用武之地。
NSPAS3 / NSP163X系列主要特點
?高精度低功耗
高度線性,穩(wěn)定性好,無需校準,100%溫度補償,0℃~85℃輸出精度優(yōu)于±1%F.S.,-40℃~130℃全溫范圍內精度優(yōu)于±1.5%F.S.,且工作電流小于3mA。
?多種輸出方式
支持模擬比例/絕對輸出,適用于多種應用需求,簡單便利,可移植性好。
?車規(guī)級標準
高達18V的高壓供電,支持反壓-24V過壓28V保護,可承受3x過載壓力和5x爆破壓力,具有較高可靠性與穩(wěn)定性。
?響應迅速
小于0.8ms的快速響應時間,可以快速控制空燃比。
?定制化產品
10kPa~400kPa內量程可定制,支持多種壓力應用場景,靈活性高,也可提供MEMS晶圓定制化產品。
納芯微NSPAS3同樣采用MEMS壓阻技術,能夠很好的兼容外商產品,無縫實現國產化替代,且響應時間更快,功耗更低,還具有更強的過載與耐爆破壓力能力。相較于外商芯片供應,納芯微作為國產芯片提供商,擁有自主研發(fā)的MEMS設計與封裝技術以及多壓力溫度點自動化批量標定技術,能夠更好的保證交付,降低客戶供應鏈風險。同時納芯微還可以根據客戶需求提供定制化MEMS晶圓產品以及合封產品,滿足不同場景的應用需求。
目前可提供工程樣品的還有模組封裝(5kPa~150kPa)的汽車級表壓集成傳感器以及汽車級貴金屬差壓MEMS傳感器晶圓,后續(xù)都將陸續(xù)推向市場。
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